3DMM 激光加工系统

3DMM公司的激光设备适用于许多加工工艺。

- 硅，玻璃，陶瓷等等材料的打孔。

- SiC无损伤裂片

- 离子注入后的激光激活，SiC工艺中的欧姆接触。

- TEM样品的制作。

激光打孔机

激光激活退火机（用于磁传感器，IGBT和SiC芯片生产）

激光裂片

激光样品加工（TEM样品）

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