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AMMT 多孔硅制作设备
多孔硅大量的应用在生物芯片,MEMS传感器上, 但是生产满足要求的多孔硅却是一种艺术。AMMT公司设计的多孔硅腐蚀台满足了科研和生产对多孔硅的需求。根据深度和孔径的要求AMMT可以提供相应的制作设备和工艺。
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