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PVA tepla等离子体去胶机
PVA tepla提供微波等离子去胶系统和等离子激活系统。微波等离子体没有自偏压。对于器件没有损伤,是纯化学反应。
BATCH设备
PVATepla, 多片或单片微波等离子体去胶(去牺牲层)设备
全自动单片设备
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